Đặc điểm của cảm biến áp suất silicon khuếch tán

So với các cảm biến nguyên lý khác, cảm biến áp suất silicon khuếch tán có các đặc điểm sau:

1. Thích hợp để chế tạo cảm biến phạm vi nhỏ. Hiệu ứng áp điện của điện trở nhạy lực của chip silicon không có vùng chết ở phạm vi thấp gần bằng 0 và phạm vi của cảm biến áp suất có thể nhỏ đến vài Kpa.

2. Độ nhạy đầu ra cao. Hệ số độ nhạy của điện trở biến dạng silicon cao hơn 50-100 lần so với máy đo biến dạng kim loại, do đó độ nhạy của cảm biến tương ứng rất cao và đầu ra phạm vi chung là khoảng 100mv. Do đó, không có yêu cầu đặc biệt nào đối với mạch giao diện và sử dụng sẽ thuận tiện hơn.

3. Độ chính xác cao. Do cảm biến, chuyển đổi nhạy cảm và phát hiện của cảm biến được thực hiện bởi cùng một thành phần nên không có liên kết chuyển đổi trung gian và các lỗi lặp lại và độ trễ là nhỏ. Vì bản thân silicon đơn tinh thể có độ cứng cao và ít biến dạng nên độ tuyến tính tốt được đảm bảo.

4. Do bộ phận làm việc có độ biến dạng thấp theo thứ tự biến dạng vi mô, độ dịch chuyển tối đa của chip đàn hồi theo thứ tự micron phụ, do đó không bị mài mòn, không mỏi, không bị lão hóa và dịch vụ tốt tuổi thọ dài bằng 1×103 chu kỳ áp suất, với hiệu suất ổn định và độ tin cậy cao.

5. Do hiệu suất chống ăn mòn hóa học tuyệt vời của silicon, ngay cả các cảm biến áp suất silicon khuếch tán không cách ly cũng có khả năng thích ứng đáng kể với các phương tiện khác nhau.

6. Vì chip áp dụng công nghệ tích hợp và không có bộ phận truyền động nên kích thước nhỏ và trọng lượng nhẹ.

Bất kỳ câu hỏi về của chúng tôiUPB1máy phát áp lực silicon, vui lòng liên hệStella Mạnh.